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关键词：
科里奥利力,质量流量计,计量,酒类行业
发表时间：
2013-01-21 11:49:04
摘 要 为了实现对球面镜真空紫外光谱反射率的直接测量，构建了一套真空紫外光谱反射率测试系统。该系统以氟化镁窗口氘灯与Ｓｅｙａ－Ｎａｍｉｏｋａ凹面光栅单色仪产生单色光源，反射式调制器与参考探测器做光学补偿，内径８０ｍｍ的荧光积分球与精密转台作为接收系统。光学补偿消除单色光源不稳定性，荧光积分球消除了两次测量光斑不同对探测器响应的影响，且减少了系统的能量损失。利用该系统测量了１１５～１８０ｎｍ球面镜的反射率，测试结果表明测量重复性优于±０．３％；按国际通用不确定度评估规范，对系统进行不确定度分析，相关不确定度小于１．３％。实现了球面镜反射率的高精度测量。
近年来，人们对真空紫外波段光谱范围的价值有了重新认识，在这一领域的应用研究已经陆续展开。光谱反射率在光学应用方面是一个重要参数，它的直接精确测量对各种光学仪器的精确设计、光学仪器性能提高与光学薄膜的质量改善至关重要［１，２］。一直以来，国内外很多研究机构对光谱反射率测量进行过深入研究［３－６］，美国国家标准技术研究院（ＮＩＳＴ）的反射率测量仪可测量２００～２ ５００ｎｍ 的标准样品光谱反射率标准［７］，法国原子能委员会曾搭建过测量球面镜的反射率计，波长范围是５００～９５０ｎｍ，均无法测量２００ｎｍ
以下的光谱传输［８］。ＭｃＰｈｅｒｓｏｎ公司ＶＵＶａｓ系列分光光度计可测量真空紫外光谱反射率，但仅限于标准样品，无法测量球面镜。目前，国际上尚无球面镜真空紫外光谱反射率测量标准，真空紫外球面镜反射率只能靠测量同批镀膜的标准样品代替，这种方法无法实现球面镜光谱反射的直接测量，将制约真空紫外仪器的定量研究。
１１５～１８０ｎｍ球面镜真空紫外反射率测量一直有三个主要问题困扰：（１）光源稳定性问题，这一波段的光源只能采用ＭｇＦ２ 窗口的氘灯，而在真空紫外的环境下碳氢化合物会聚
集在ＭｇＦ２ 材料的表面，透过率每小时衰减超过１％，影响测量结果；（２）由于样品是球面镜，测量前后光斑大小不一致，导致接收装置响应不一致，测量误差很大；（３）对于真空紫外波段，光路复杂能量损失严重，而且探测器响应亦严重下降，信噪比相对较低。因此，精确测量真空紫外的光谱反射率很困难。
本文介绍了一套高精度测量方法，引入双光路光学补偿以消除单色光源不稳定性，荧光积分球消除了两次测量光斑大小对探测器响应的影响，并减少了系统传输能量损失，改善了系统信号响应。
以下的光谱传输［８］。ＭｃＰｈｅｒｓｏｎ公司ＶＵＶａｓ系列分光光度计可测量真空紫外光谱反射率，但仅限于标准样品，无法测量球面镜。目前，国际上尚无球面镜真空紫外光谱反射率测量标准，真空紫外球面镜反射率只能靠测量同批镀膜的标准样品代替，这种方法无法实现球面镜光谱反射的直接测量，将制约真空紫外仪器的定量研究。
１１５～１８０ｎｍ球面镜真空紫外反射率测量一直有三个主要问题困扰：（１）光源稳定性问题，这一波段的光源只能采用ＭｇＦ２ 窗口的氘灯，而在真空紫外的环境下碳氢化合物会聚
集在ＭｇＦ２ 材料的表面，透过率每小时衰减超过１％，影响测量结果；（２）由于样品是球面镜，测量前后光斑大小不一致，导致接收装置响应不一致，测量误差很大；（３）对于真空紫外波段，光路复杂能量损失严重，而且探测器响应亦严重下降，信噪比相对较低。因此，精确测量真空紫外的光谱反射率很困难。
本文介绍了一套高精度测量方法，引入双光路光学补偿以消除单色光源不稳定性，荧光积分球消除了两次测量光斑大小对探测器响应的影响，并减少了系统传输能量损失，改善了系统信号响应。
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