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关键词：
精确质量数GC-TOF质谱仪,代谢组学,应用
发表时间：
2013-01-28 09:38:01
摘 要 电子温度是表征等离子体性质的一个重要参数。由于等离子体放电过程非常复杂, 要实时准确测定其电子温度值非常困难。发射光谱法作为一种等离子体诊断技术, 因其所使用的仪器相对简单, 并采用非接触测量, 灵敏度高, 响应速度快, 可广泛地应用于各种等离子体性质的研究和参数的诊断。文章介绍了测定等离子体电子温度的双谱线法、多谱线斜率法、等电子谱线法、Saha2Boltzmann 法、谱线绝对强度法等多种发射光谱法, 同时综述了这些方法在等离子体电子温度诊断中的应用, 旨在为实际过程中选择合适的等离子体诊断方法提供参考。
等离子体诊断是一项综合性很强的技术, 其方法大体上可分为主动式测量和被动式测量两大类[1 , 2 ] , 主动式测量包括探针法、微波法、阻抗测量法等, 被动式测量主要有Thomson 散射法、光谱法等。其中, 光谱法作为一种非介入诊断技术有着其他方法无可比拟的优势[3 ] , 它对不同尺寸、均匀或非均匀等离子体等都可进行精确诊断, 不仅适用于稳态还可应用于瞬态等离子体的测定[4-7 ] 。常用来诊断等离子体参数的光谱法包括发射光谱法, 激光诱导荧光法, 吸收光谱法, X 射线光谱法等[8-12 ] , 这些光谱法可以检测到等离子体辐射所产生的多种电磁波谱, 测量这些辐射, 就可以获得诸如等离子体的成分及其分布、电子密度、电子温度、离子密度、离子温度和磁场分布等重要数据。发射光谱法因其所使用的仪器相对简单, 当前被广泛地应用于各种不同过程的等离子体诊断及测试。本文就发射光谱法对等离子体电子温度的测量原理及其在等离子体电子温度诊断方面的实际应用做一综述, 旨在为该参数的诊断提供参考。
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