本标准对应于SEMI C3. 24:1995《钢瓶装六氟化硫》标准中的体积分数为99. 97% (SEMI为半导体设备和材料国际组织)，与SEMI C3. 24的一致性程度为非等效。
本标准与SEMI C3. 24:1995的主要技术差异如下：
——根据我国半导体工业、集成电路对气体纯度的要求及我国高纯六氟化硫气体生产工艺水平，本标准中的技术指标除水外均优于SEMI C3. 24。六氟化硫纯度定为大于或等于99. 99%，优于
SEMI C3. 24中的99. 97%。
——分析方法中修改采用SEMI C3.24中空气、四氟化碳及水分的测定；同时由于目前国内主要采用电解氟气与硫反应生成六氟化硫的工艺路线，该工艺可能产生微量可水解氟化物、其他氟碳
化物、其他氟硫化物，这些杂质对使用有害，因此增加了二氧化碳、六氟乙烷、八氟丙烷、硫酰氟、亚硫酰氟、十氟一氧化二硫的测定。
——对其他氟硫化物的检测采用带有火焰光度检测器(FPD)的气相色谱仪，综合考虑使用方便、设备费用等因素，本标准采用热导检测器与火焰光度检测器串联的气相色谱仪进行检测空气、四氟化碳、硫酰氟、亚硫酰氟、十氟一氧化二硫并作为资料性附录A。
——采用带有火焰离子化检测器的气相色谱仪检测六氟乙烷、八氟丙烷并作为资料性附录I3。
本标准的跗录A和附录B为资料性附录。
本标准由原国家石油和化学工业局提出。
本标准由全国气体标准化技术委员会(CSBTS/TC 206)归口。
本标准起草单位：中核红华特种气体股份有限公司、西南化工研究设计院起草，光明化工研究设计院参与起草。
本标准主要起草人：杜伟华、张奎、贺国武、张军、何道善。
本标准为首次发布。
