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关键词：
聚合离子液体;石墨烯;固相萃取;有机磷农药
发表时间：
2017-02-07 11:47:20
低温等离子体剥蚀_电感耦合等离子体质谱联用对电路板镀层的深度分析_杨萌
宋丹杨 | -> | 460| 0| 0.87331MB |低温等离子体;介质阻挡放电;剥蚀;深度分析;电路板;电感祸合等离子体质谱
金属镀层在电子设备产品中的应用己经越来越普遍和重要[Dl，在电子设备的电路板中，镀有稀有
金属的连接触头是各种模块互连的关键部件，如PCB金手指就是内存处理单元的所有数据流、电子流
与内存插槽的连接点。因此，其镀层的化学成分及镀层元素的纵向深度剖面分布与电路板的耐蚀性、
导电性、内存连接等使用性能紧密相关[}z}
近年来，现有的检测技术通过光子、电子或离子与样品表面相互作用的原理己广泛应用于深度剖
面分析。例如，二次离子质谱技术(SIMS) }3}、俄歇电子能谱(AES) }4}、激光诱导击穿光谱(LIES)
辉光放电光谱(GD-0ES) }''8}和激光烧蚀电感祸合等离子体质谱(LA}CP}VIS) }9}。然而，这些技术存在
不同程度的缺陷，例如SIMS和AES对样品要求苛刻，所使用样品表面的光滑程度对分析结果影响很
大，分析较大厚度的样品(> 10 }.},m)时耗费时间长[l0];LIES和GD-0ES分辨率较低，光谱干扰较
多[}"} ; LA}CP}VIS需要高功率设备，操作条件复杂，价格昂贵[Dz.isl。所以，建立快速简便的深度分析
是目前的研究热点。
大气压下的惰性气体介质阻挡放电技术可以产生稳定的低温等离子体(LTP) }'4}，采用筒式结构即
可形成低温等离子体探针，直接用于固体样品表面剥蚀和溅射，与ICPMS仪器联用，可以完成固体样
品元素的微区分析[os_}}}。将LTP探针与三维样品移动平台、数据软件控制系统，显微放大视频可见系
统相结合，制成LTP固体样品直接进样系统装置，此装置具有结构简单、易操作、无需真空环境、功耗
低、可用于绝缘的样品和导电的样品等优点，进一步提高了此技术的普遍实用性和应用范围。
本实验将LTP固体直接进样系统装置与ICP}VIS联用，应用于电路板镀层深度分析。LTP可以逐
层有效剥蚀样品表面，ICPMS可以有较好的灵敏度分析痕量元素[os.}9}，二者联用可以达到深度分析所
需的灵敏度和分辨率，并能在短时间内(小于1 s / }.},m)完成镀层的深度分析，目前尚未有将此系统用于
较大厚度范围多层镀膜分析的报道。
金属的连接触头是各种模块互连的关键部件，如PCB金手指就是内存处理单元的所有数据流、电子流
与内存插槽的连接点。因此，其镀层的化学成分及镀层元素的纵向深度剖面分布与电路板的耐蚀性、
导电性、内存连接等使用性能紧密相关[}z}
近年来，现有的检测技术通过光子、电子或离子与样品表面相互作用的原理己广泛应用于深度剖
面分析。例如，二次离子质谱技术(SIMS) }3}、俄歇电子能谱(AES) }4}、激光诱导击穿光谱(LIES)
辉光放电光谱(GD-0ES) }''8}和激光烧蚀电感祸合等离子体质谱(LA}CP}VIS) }9}。然而，这些技术存在
不同程度的缺陷，例如SIMS和AES对样品要求苛刻，所使用样品表面的光滑程度对分析结果影响很
大，分析较大厚度的样品(> 10 }.},m)时耗费时间长[l0];LIES和GD-0ES分辨率较低，光谱干扰较
多[}"} ; LA}CP}VIS需要高功率设备，操作条件复杂，价格昂贵[Dz.isl。所以，建立快速简便的深度分析
是目前的研究热点。
大气压下的惰性气体介质阻挡放电技术可以产生稳定的低温等离子体(LTP) }'4}，采用筒式结构即
可形成低温等离子体探针，直接用于固体样品表面剥蚀和溅射，与ICPMS仪器联用，可以完成固体样
品元素的微区分析[os_}}}。将LTP探针与三维样品移动平台、数据软件控制系统，显微放大视频可见系
统相结合，制成LTP固体样品直接进样系统装置，此装置具有结构简单、易操作、无需真空环境、功耗
低、可用于绝缘的样品和导电的样品等优点，进一步提高了此技术的普遍实用性和应用范围。
本实验将LTP固体直接进样系统装置与ICP}VIS联用，应用于电路板镀层深度分析。LTP可以逐
层有效剥蚀样品表面，ICPMS可以有较好的灵敏度分析痕量元素[os.}9}，二者联用可以达到深度分析所
需的灵敏度和分辨率，并能在短时间内(小于1 s / }.},m)完成镀层的深度分析，目前尚未有将此系统用于
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