GBT 24582-2009 酸浸取-电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质 - 国标

样品基质

多晶硅表面金属杂质

检测范围

见国标第3页

详细说明

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC／TC 203)提出并归口。
本标准负责起草单位：新光硅业科技责任有限公司。
本标准主要起草人：王波、过惠芬、吴道荣、梁洪、敖细平。